정부가 반도체 핵심 공정 장비인 극자외선(EUV) 노광장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화해 도입 기간이 최대 25일 단축된다.
산업통상부는 2일 국무회의에서 이 같은 내용을 담은 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다. 이번 개정안은 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 기존 '고압가스 일반제조시설'이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 것이 핵심이다.
이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입에 필요한 검사 기간은 기존 34일에서 9일로 줄어든다. 또한 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사를 생략할 수 있게 되어 장비당 약 5억원의 비용 절감 효과도 기대된다.
그동안 반도체 업계에서는 EUV 장비가 내부에 고압가스 장치를 포함하고 있어 고압가스 제조설비로 분류되는 것에 대한 부담을 호소해왔다. 장비를 설치할 때마다 기술검토와 여러 단계의 검사를 거쳐야 해 첨단 공정 도입이 지연된다는 지적이 있었다.
이에 산업부는 업계 의견을 수렴하고 안전성 검토를 거쳐 EUV 장비를 '특정설비'로 전환 관리하기로 했다. 특정설비로 지정되더라도 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 통해 기존과 동등한 수준의 안전성을 확보한다는 방침이다.
아울러 이번 시행령 개정에는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'의 상용화를 위한 맞춤형 검사 기준 신설과 위험성이 낮은 고압가스 시설의 안전관리자 선임 기준을 완화하는 내용도 포함됐다.
김정관 산업통상부 장관은 "이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례"라며 "앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원하겠다"고 밝혔다.